ICP原子发射光谱仪是根据试样中被测元素的原子或离子，在光源中被激发而产生特征辐射，通过判断这种特征辐射波长及其强度的大小，对各元素进行定性分析和定量分析的仪器。作为样品前处理系统即离子激发源，通常接MS或OES联用。

ICP要求以气体、蒸气、细雾滴的气溶胶或固体小颗粒的形式进样。样品导入包括（气动雾化标准进样系统或超声雾化法、氢化物发生、电热气化、固体粉末进样）。

本文主要介绍雾化器选择需要考虑的因素：

PFA雾化器和普通材质雾化器选择，耐HF材质一般由聚四氟乙烯、全氟树脂、陶瓷氧化铝、聚酰胺等材料制成，主要用于地质、土壤、半导体、合金等含硅化物样品的检测。另外，普通雾化器由玻璃或石英制成，主要用于环境水质、简单金属、及非HF处理样品检测。

总溶解固体量TD：

是雾化器zui基本的指标，界限值都在5  10  20  25  30  40%（W/v），其中30 40 的都是V型或平行雾化器。

悬浮微粒大小：

如测试的样品是悬浮液（如土壤、废弃固体、PVC、塑料、生化样品等的消解液）则一定要用能过通过大微粒的雾化器，否则直接导致其损坏，普通玻璃同心雾化器的一般都可以通过75um的；而V型和平行通道结构的雾化器具有能够通过大微粒的能力。

测试样品的种类和被测成分含量高低：

ICP上用的微量雾化器，适合于含量较高浓度分析和ICP-MS分析。

美国Savillex作为Agilent的7x00和8800系列ICP-MS的出厂标准配件供货商，还与其联合开发一套PFA配件，其中C700d可同时适用与ICP-OES和ICP-MS。具体选型见下表：